高温炉操作规程
一、 准备工作
a、检查连接线是否正常。
b、检查电源线接触是否良好。
c、检查密封性是否正常。
d、检查冷却水是否正常。
e,、准备所需工具：无水酒精、无尘纸、作业手套、帆布手套、耐高温手套、口罩、石墨推车、不锈钢托盘
二、开炉
a、打开主电源开关
b、向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板
c、将输送车开关打至 OUT
d、清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
三、装料
a、将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。
b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门。
四、抽气
a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封。
b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率。
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。
d、加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。
e、冷却。加热结束后，按工艺条件进行冷却。
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